Качество Инновации Будущее

Установка лазерной микрообработки FL-Micro

Компактная, энергоэффективная и автоматизированная система обеспечивает прецизионную точность и стабильное качество при серийном производстве и в лабораторных исследованиях. Установка FL-Micro позволяет реализовывать технологию лазерного разделения полупроводниковых материалов бесконтактным способом с высокой скоростью обработки и минимальной шириной реза.

 

Платформа волоконных лазеров VPG LaserONE обеспечивает стабильность выходных параметров пучка при регулировке пиковой мощности и/или частоты следования импульсов. Заказчики, инженеры и исследователи выбирают установку лазерной микрообработки FL-Micro за повторяемость результатов и низкую себестоимость эксплуатации.

 

Станок поддерживает индивидуальную настройку параметров под конкретные задачи: лазерная сварка стекла, резка кремния, карбида кремния и сапфира, обработка керамики — в одном решении.

Скачать PDF презентацию
Запросить подробную информацию
Установка FL-Micro - решение для лазерной микрообработки металлов, полупроводников и композитов
VPG LaseroneVPG LaseroneVPG LaseroneVPG LaseroneVPG LaseroneVPG LaseroneVPG Laserone

ПРИМЕНЕНИЕ

  • Лазерное удаление вольфрамового покрытия с поверхности заготовок керамики
  • Лазерная абляция кремниевой пластины с гетероэпитаксиальным слоем GaN
  • Разделение сапфировых подложек
  • Разделение пластин сапфира с помощью излучения УФ лазера
  • Резка и скрайбирование ситалла
  • Резка и скрайбирование кремниевых подложек
  • Резка и скрайбирование карбида кремния
  • Лазерная сварка стекла и кремния
Особенности

КЛЮЧЕВЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

Единая платформа для различных технологических операций
Система машинного зрения для точного наведения на обрабатываемую траекторию
Высокая скорость обработки по сравнению с традиционными способами Прецизионная ось вращения на воздушной подушке
Система позиционирования по высоте в процессе обработки и измерение мощности лазерного излучения для стабильного процесса обработки
Собственное программное обеспечение
Прецизионная ось вращения на воздушной подушке
Лазерные источники: УФ, зеленого и ИК диапазонов (производства VPG LaserONE)
Высокоточная система позиционирования заготовок +/- 5 мкм (и менее при необходимости)
Видеообзор

Видеообзор

Резка сапфира на установке FL-Micro с лазером UPL-100-15-100

Посмотрите в коротком видео

Спецификация

Максимальный размер заготовки, ммØ8” (квадрат 250 x 250)
Ось Х
Максимальный ход, мм340
Диапазон резки, мм250
Скорость перемещения, мм/секРегулируемая скорость обработки от 0,1 до 100;
Скорость возврата оси: 100
Ось Y
Максимальный ход, мм340
Диапазон резки, мм250
Скорость перемещения, мм/секРегулируемая скорость обработки от 0,1 до 20;
Скорость возврата оси: 20
Ось Z
Диапазон ввода высоты линзы (фокус лазера), ммВвод: от 0 до 50. Шаг: 0,005
Скорость перемещения, мм/сек20
Разрешение перемещения, мм0,005
Ось θ
Максимальный угол вращения, ˚360
Панель управленияСенсорный дисплей
Экраны управленияГрафический интерфейс пользователя с отображением процесса
совмещения, данных процесса, сообщений ошибки и другой релевантной информации. Управление осуществляется с сенсорного экрана
Язык управленияРусский

Дополнительно

Резка трафаретов для печатных плат+
Разделение пластин полупроводниковых материалов+ (UV)
Перфорация и резка сырой керамики+
Резка и перфорация фольговых материалов+
Скрайбирование и структурирование кремния, сапфира, керамики, кварца, снятие металлизации+ (UV)
Сверление проходных и глухих отверстий - для 3D-интеграции, дисплеев и фотоэлементов+
Структурирование слоя металлизации на подложке – процесс создания массива структурных элементов, заданной формы и размеров, размещённых в заданном порядке для решения разнообразных прикладных задач+
Лазерные комплексы могут использоваться для изготовления масок и трафаретов, прямое формирования топологии, пассивной подгонки резисторов, обработки керамики и гибких носителей для ГИС (гибридная интегральная схема)+
Длина волны, нмот 340 до 1030
Форма обратной связи

Оставьте заявку

Заполните форму, мы свяжемся с вами и ответим на вопросы